解説 集積回路配線における精密めっき技術

• 逢坂 哲彌

• 高野 奈央

書誌事項

タイトル別名

• カイセツ シュウセキ カイロ ハイセン ニ オケル セイミツ メッキ ギジュツ

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 68 (11), 1237-1242, 1999-11

  東京 : 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1520009410236552576
• NII論文ID: 10004651099
• NII書誌ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 4897330
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4897330
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles