走査型プローブ顕微鏡とナノメートル加工への応用

• 小野 崇人

• 江刺 正喜

書誌事項

タイトル別名

• ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ト ナノメートル カコウ エ ノ オウヨウ
• ミニ特集 表面/ナノ構造の計測
• ミニ トクシュウ ヒョウメン ナノ コウゾウ ノ ケイソク

収録刊行物

• 計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers 38 (12), 763-768, 1999-12

  東京 : 計測自動制御学会 ; 1962-

詳細情報

• CRID: 1520853835146044160
• NII論文ID: 10004656336
• NII書誌ID: AN00072406
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 4977081
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4977081
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles