Ti/Si_3N_4固相拡散接合界面の構造

• 前田 将克

  大阪大学接合科学研究所

• 大本 亮蔵

  大阪大学大学院(現 日本発条)

• 柴柳 敏哉

  大阪大学接合科学研究所

• 奈賀 正明

  大阪大学接合科学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Interfacial Structure of Solid State Diffusion Bonded Ti/Si_3N_4 Joints

収録刊行物

• 高温学会誌

  高温学会誌 26 (4), 14-, 2000-07-20

詳細情報

• CRID: 1573950398989212416
• NII論文ID: 10004659446
• NII書誌ID: AN00080051
• ISSN: 03871096
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles