反応性スパッタリング法により作成した立方晶窒化硼素薄膜の内部応力

書誌事項

タイトル別名
  • Internal stress of cubic boron nitride thin films prepared by reactive sputtering

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詳細情報

  • CRID
    1571417124199038208
  • NII論文ID
    10004659582
  • NII書誌ID
    AN00080051
  • ISSN
    03871096
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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