解説 プラズマCVD法によるDLC保護膜

• 山本 尚之

Bibliographic Information

Other Title

• カイセツ プラズマ CVDホウ ニ ヨル DLC ホゴ マク
• 小特集 最近の硬質薄膜成膜技術
• ショウトクシュウ サイキン ノ コウシツ ハクマクセイマク ギジュツ

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 45 (3), 198-203, 2000-03

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

Keywords

• tribology
• magnetic recording
• overcoat
• DLC film
• plasma CVD

Details

• CRID: 1520009409262457856
• NII Article ID: 10004665904
• NII Book ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL BIB ID: 5308276
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5308276
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles