解説 超高速2GHZ LSIを実現するための0.1μmプロセス用絶縁材料の開発に成功--ナノメートルオーダーの空洞の形状制御技術" Nanocavity"
書誌事項
- タイトル別名
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- カイセツ チョウコウソク 2GHZ LSI オ ジツゲン スル タメ ノ 0 1マイクロm プロセスヨウ ゼツエン ザイリョウ ノ カイハツ ニ セイコウ ナノメートルオーダー ノ クウドウ ノ ケイジョウ セイギョ ギジュツ Nanocavity
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 化学と工業 = Chemistry & chemical industry
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化学と工業 = Chemistry & chemical industry 53 (3), 287-289, 2000-03
東京 : 日本化学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572359025691136
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- NII論文ID
- 10004678932
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- NII書誌ID
- AN00037562
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- ISSN
- 00227684
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- NDL書誌ID
- 5292828
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP1(科学技術--化学・化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles