半導体製造の信頼性--分析の視点から

• 青木 茂

Bibliographic Information

Other Title

• ハンドウタイ セイゾウ ノ シンライセイ ブンセキ ノ シテン カラ
• 特集 エレクトロニクス製品に化学の光をあてる
• トクシュウ エレクトロニクス セイヒン ニ カガク ノ ヒカリ オ アテル

Abstract

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

Journal

• 化学と工業 = Chemistry & chemical industry

  化学と工業 = Chemistry & chemical industry 51 (11), 1741-1744, 1998-11

  東京 : 日本化学会

Details

• CRID: 1520572358226074112
• NII Article ID: 10004681520
• NII Book ID: AN00037562
• ISSN: 00227684
• NDL BIB ID: 4590613
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4590613
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP1(科学技術--化学・化学工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles