センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術

• 杉山 佳延

  (財)新機能素子研究開発協会

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication Technologies of Inorganic Functional Thin Films for Sensors and Actuators
• ジキ センサヨウ ハンドウタイ オヨビ GMR ノ ギジュツ ドウコウ
• Trends on Semiconductor Magnetic Sensors and Giast Magnetoresistance Devices
• II. 磁気センサ用半導体およびGMRの技術動向

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 117 (10), 492-496, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 磁気センサ
• ホール素子

詳細情報

• CRID: 1390001204461652224
• NII論文ID: 10004832598
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.492
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 4304106
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4304106
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/10/117_10_492/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles