センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術

• 大和田 邦樹

  (株)村田製作所

• 田中 克彦

  (株)村田製作所

• 久保 竜一

  (株)村田製作所

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication Technologies of Inorganic Functional Thin Films for Sensors and Actuators
• ECR スパッタホウ オ モチイタ PZT ハクマク ノ ケイセイ ト ヒョウ
• III. Deposition and Evaluation of PZT Thin Film Using ECR Sputtering
• III. ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 117 (10), 497-500, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• PZT薄膜
• ECRスパッタ
• ペロブスカイト
• 圧電特性
• 圧電定数

詳細情報

• CRID: 1390001204461401856
• NII論文ID: 10004832644
• NII論文ID: 10004271957
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.497
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 4304107
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4304107
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/10/117_10_497/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles