Fabrication Technologies of Inorganic Functional Thin Films for Sensors and Actuators

• Ohwada Kuniki

  Murata Mfg. Co., Ltd.

• Tanaka Katsuhiko

  Murata Mfg. Co., Ltd.

• Kubo Ryuichi

  Murata Mfg. Co., Ltd.

Bibliographic Information

Other Title

• センサ・アクチュエータ用無機機能性薄膜プロセス技術
• ECR スパッタホウ オ モチイタ PZT ハクマク ノ ケイセイ ト ヒョウ
• III. Deposition and Evaluation of PZT Thin Film Using ECR Sputtering
• III. ECRスパッタ法を用いたPZT薄膜の形成と評価

Journal

• IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

  IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 117 (10), 497-500, 1997

  The Institute of Electrical Engineers of Japan

Keywords

• PZT薄膜
• ECRスパッタ
• ペロブスカイト
• 圧電特性
• 圧電定数

Details

• CRID: 1390001204461401856
• NII Article ID: 10004832644
• NII Article ID: 10004271957
• NII Book ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.117.497
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL BIB ID: 4304107
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4304107
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/117/10/117_10_497/_pdf
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles