Facing targets type of sputtering method for deposition of magnetic metal films at low temperature and high rate
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収録刊行物
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- IEEE Trans.Mag.
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IEEE Trans.Mag. 16 646-, 1979
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571135649234968320
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- NII論文ID
- 10004832853
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- NII書誌ID
- AA00667933
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- データソース種別
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- CiNii Articles