書誌事項
- タイトル別名
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- Preparation and Characterization of Sol-Gel Derived PZT Thin Films for Micro Actuators
- マイクロ アクチュエータ ノ タメ ノ ゾル ゲルホウ ニ ヨル PZT セキソウ マク ノ サクセイ ト ヒョウカ
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抄録
The Pb(Zr1-xTix)O3, (PZT) of thickness of 3μm was fabricated using Sol-Gel spinning-coating onto Pt/Ti/SiO2/Si substrates. The preferred orientation of the PZT films was observed using X-ray diffraction analysis (XRD) and the microstructure was investigated using scanning electron microscopy (SEM). The preferred orientations in the direction of the (100) plane were obtained using the treatment for pyrolysis at 573K and for crystallization at 823K. The present PZT films showed dielectric constants about 1200. Ferroelectricity of these films was established with the values of the remnant polarization of 12.5μC/cm2 and the coercive field of 29.0kV/cm.
収録刊行物
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- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 119 (4), 254-259, 1999
一般社団法人 電気学会
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キーワード
詳細情報
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- CRID
- 1390282679438610944
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- NII論文ID
- 10004833885
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
- http://id.crossref.org/issn/13418939
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- NDL書誌ID
- 4705272
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可