Structure design and fabrication of symmetric force-balance micromaching capacitive accelerometer

被引用文献1件

収録刊行物

  • SPIE

    SPIE 3223 284-293, 1997

被引用文献 (1)*注記

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1573105974072376064
  • NII論文ID
    10004834097
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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