回転振動形ジャイロスコープに関する基礎研究

• 藤田 孝之

  姫路工大

• 波多野 健太

  姫路工大

• 水野 卓也

  日本特殊陶業株式会社

• 前中 一介

  姫路工大

• 前田 宗雄

  姫路工大

書誌事項

タイトル別名

• Preliminary study on rotational vibrating disk gyroscope
• カイテン シンドウケイ ジャイロスコープ ニ カンスル キソ ケンキュウ

抄録

We have developed a novel rotational vibrating disk gyroscope using a silicon bulk micromachining technique. The vibrating disk is driven in the rotational direction by electrostatic force using comb finger actuator and is supported by four notched springs. The chip has the size of 8mm×8mm square, which includes the disk shaped vibrating mass with a diameter of 2mm and a thickness of 55μm. Additionally, we adapted the ASIC by using Multi-Chip Service (MICS/MCS) for signal processing. We finally obtained the sensitivity of 28μV/(deg/sec).

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 119 (8-9), 411-416, 1999

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• ジャイロスコープ
• 角速度センサ
• 静電アクチュエータ
• バルクマイクロマシニング

詳細情報

• CRID: 1390282679437395968
• NII論文ID: 10004834189
• NII論文ID: 20000315662
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.119.411
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/03854213
• NDL書誌ID: 4816584
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4816584
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/119/8-9/119_8-9_411/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可