干渉型表示素子の提案と動作原理の確認

• 初澤 毅

  東工大精研

• 後藤 亜世

  ソニー(株)

• 小口 寿明

  東工大精研

• 早瀬 仁則

  東工大精研

書誌事項

タイトル別名

• A Proposal and a Feasibility Study of an Interferometric Display Device
• カンショウガタ ヒョウジ ソシ ノ テイアン ト ドウサ ゲンリ ノ カクニン

抄録

A micro electromechnical element for a novel display device-IDD (Interferometric Display Device)-has been proposed and a plototype device is tested to verify its actuation principle. In the IDD, a Fizeau interferometer is constructed by an SiO₂ half mirror and silicon substrate surface. When the mirror gap is controlled by a electrostatic force to adjust the optical path difference between two mirrors, the contrast can be changed by the interference in the Fizeau interferometer. A plototype device with 100μm square mirror is driven by a dc voltage up to 50V, resulting in a circular interferometric fringe movement observed by an optical microscope. Step responses less than 100Hz are also examined by using a laser light source.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 119 (12), 631-635, 1999

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• Fizeau interferometer
• Interferometric dispaly device
• Electro static drive

詳細情報

• CRID: 1390001204462627456
• NII論文ID: 10005111600
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.119.631
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 4924173
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4924173
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas1995/119/12/119_12_631/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可