マイクロマシンを実現する微細加工技術　　厚膜レジストＳＵ‐８によるＬＩＧＡライクプロセス

• 川畑 達央

  オムロン (株) 中央研究所

書誌事項

タイトル別名

• Process Technology for Realization of Micromachine. LIGA Like Process Using SU-8 as Thick Photoresist.
• アツマク レジスト SU-8 ニ ヨル LIGA ライクプロセス

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 50 (11), 956-960, 1999

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Micromachining
• LIGA Like Process
• High Aspect Ratio
• Thick Photoresist
• SU-8

詳細情報

• CRID: 1390001204114251648
• NII論文ID: 10006252614
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.50.956
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/09151869
• NDL書誌ID: 4894945
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4894945
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles