3-5族化合物半導体気相成長プロセスの解明--実験とシミュレーション

• 笹岡 千秋

• 望月 祐志

• 碓井 彰

書誌事項

タイトル別名

• 3 5ゾク カゴウブツ ハンドウタイ キソウ セイチョウ プロセス ノ カイメ

抄録

記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 62 (8), p786-791, 1993-08

  東京 : 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1520009410239506816
• NII論文ID: 10006623151
• NII書誌ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 3837590
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3837590
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles