今三次元‐プラズマイオンによる表面の改質とプロセス　５　　三次元イオン注入システム

• 行村 建

  同志社大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Now or Never. Plasma Based Ion Implantation for Three-Dimensional Surface Modification and Process. Three Dimensional Ion Implantation System.
• 3ジゲン イオン チュウニュウ システム

収録刊行物

• 電気学会誌

  電気学会誌 121 (5), 316-319, 2001

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• プラズマイオン注入
• モジュレータ
• パルサ
• 閉スイッチ
• 半導体スイッチ
• 漂遊容量

詳細情報

• CRID: 1390001204662107520
• NII論文ID: 10007208796
• NII書誌ID: AN10432927
• DOI: 10.1541/ieejjournal.121.316
• ISSN: 18814190
• ISSN: 13405551
• NDL書誌ID: 5758187
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5758187
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1994/121/5/121_5_316/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles