高周波マグネトロンスパッタ法による炭素系薄膜の作製と評価

• 藤本 圭一

  大阪大学工学研究科電子工学

• 李 奎毅

  大阪大学工学研究科電子工学

• 本多 信一

  大阪大学工学研究科電子工学

• 大倉 重治

  大阪大学工学研究科電子工学

• 片山 光浩

  大阪大学工学研究科電子工学

• 尾浦 憲治郎

  大阪大学工学研究科電子工学

書誌事項

タイトル別名

• Study and Formation of Carbon films Deposited by RF Magnetron Sputtering

収録刊行物

• 真空

  真空 44 (3), 338-, 2001-03-20

詳細情報

• CRID: 1570009749680491904
• NII論文ID: 10007388926
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles