<シミュレーション技術>総論  [in Japanese] Semiconductor simulation technology-Introduction  [in Japanese]

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Author(s)

    • 西 謙二 NISHI Kenji
    • (株)半導体先端テクノロジーズ第二研究部 Semiconductor Leading Edge Technologies

Abstract

半導体のシミュレーション技術の基礎の導入部分として,シミュレーション技術の概要を紹介する.シミュレーション技術とは何かを概説した後に,産業界での使用目的,効果に関して説明する.次に,シミュレーション精度に関する問題点を,モデルのレベル,および合わせ込みとの関連で説明する.最後に,今後のシミュレーションの課題に関して,ロードマップに従って概説する.

Journal

  • OYOBUTURI

    OYOBUTURI 71(5), 588-592, 2002-05-10

    The Japan Society of Applied Physics

References:  6

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008201131
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00026679
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    REV
  • ISSN
    03698009
  • NDL Article ID
    6128096
  • NDL Source Classification
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL Call No.
    Z15-243
  • Data Source
    CJP  NDL  J-STAGE 
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