容量結合型高周波放電における陽極表面状態の影響 Effects of the Anode Surfaces on Capacitive Coupled RF Plasmas

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著者

    • 久保 隆 KUBO Takashi
    • 広島国際学院大学工学部電子工学科 Department of Electronics, Faculty of Engineering, Hiroshima Kokusai Gakuin University
    • 田中 誠 TANAKA Makoto
    • 広島国際学院大学工学部電子工学科 Department of Electronics, Faculty of Engineering, Hiroshima Kokusai Gakuin University

抄録

In this paper, the dependence of the surface conditions of the anode on the discharges was studied using the asymmetrical parallel plate radio frequency plasma reactor. In order to change the surface condition, aluminum foils were fixed on the anode made of stainless steel. In any cases, the one-dimensional distributions of the electron densities and plasma potentials were measured by using the self-compensated Langmuir probe.<BR>The results indicate that the change of the anode surface influences the spatial distribution of electron density near the cathode.

収録刊行物

  • 真空

    真空 45(3), 173-176, 2002-03-20

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008202878
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6144186
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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