イオンビームアシスト蒸着法を用いた酸化チタン薄膜へのクロム添加による光触媒特性への影響 Influence on Photocatalytic Properties by Doping of Chromium to Titanium Oxide Thin Films using Ion Beam Assisted Deposition Method

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抄録

The photocatalytic properties of Cr-doped TiO<SUB>2</SUB> films was investigated by the immersion test in a methylene blue solution under UV light irradiation. The Cr/TiO<SUB>2</SUB> films were prepared as follows; after TiO<SUB>2</SUB> film was prepared on a slide glass substrate by He<SUP>+</SUP>-ion beam assisted reactive deposition method (He<SUP>+</SUP>-IBARD), Cr was doped into TiO<SUB>2</SUB> films by Ar<SUP>+</SUP>-ion beam assisted deposition method (Ar<SUP>+</SUP>-IBAD).<BR>In the Ar<SUP>+</SUP>-IBAD method, Ar<SUP>+</SUP> ion irradiation was carried out during Cr evaporation in order to form the mixing layer of Cr and TiO<SUB>2</SUB>. Ar<SUP>+</SUP> ions played an important role to knock on Cr atoms into TiO<SUB>2</SUB> film. The rate of absorbance change for blank of Cr/TiO<SUB>2</SUB> film showed higher value than that of TiO<SUB>2</SUB> film under UV light irradiation. In order to improve photocatalytic properties of Cr-doped TiO<SUB>2</SUB> films, it was required that doped-Cr showed the metal state and amorphous structure.

収録刊行物

  • 真空

    真空 45(3), 231-234, 2002-03-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008203031
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    6144536
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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