水素ガスを使ったチタニウム酸化膜の昇温脱離定量動的評価

• 山内 康弘

  千葉工業大学

• 水野 善之

  スタンフォード大学スタンフォード線形加速器センター

• 田中 彰博

  アルバック・ファイ (株)

• 本間 禎一

  千葉工業大学

書誌事項

タイトル別名

• Dynamical Estimation of Titanium Oxide Film with Molecular Hydrogen in Thermal Desorption Spectra.
• スイソ ガス オ ツカッタ チタニウム サンカ マク ノ ショウオン ダツリ テイリョウ ドウテキ ヒョウカ

抄録

Dynamical behaviors of hydrogen molecules from titanium oxides on a titanium surface were examined with thermal desorption spectroscopy (TDS). The oxide film on a titanium surface has been formed in an oxygen gas with a pressure of 1 × 10^-4 Pa at a temperature of 400°C. The specimen was exposed in a hydrogen gas at a pressure of 1 × 10⁴ Pa after the oxidation. The TD spectra of hydrogen from the titanium oxide surface have shown three peaks.

収録刊行物

• 真空

  真空 45 (3), 265-268, 2002

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679041512448
• NII論文ID: 10008203110
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.45.265
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 6144645
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6144645
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可