Ｈｅガスを用いたＢｉ２Ｓｒ２Ｃａｎ－１ＣｕｎＯｙスパッタ薄膜の組成制御

• 松本 浩介

  鳥取大学工学部電気電子工学科

• 小椋 満

  鳥取大学工学部電気電子工学科

• 葛原 宏治

  鳥取大学工学部電気電子工学科

• 岸田 悟

  鳥取大学工学部電気電子工学科

• 水谷 剛

  物質・材料研究機構物質研究所

• 吉川 英樹

  物質・材料研究機構物質研究所

• 福島 整

  物質・材料研究機構物質研究所

• 徳高 平蔵

  鳥取大学工学部電気電子工学科

書誌事項

タイトル別名

• Phase Control of Bi2Sr2Can-1CunOy Sputtered Films using He Gas.
• He ガス オ モチイタ Bi2Sr2Can 1CunOy スパッタ ハクマク ノ ソセイ セイギョ

抄録

We prepared Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_y (BSCCO) thin films by RF magnetron sputtering using a mixture of He + O₂ sputtering gas (He : O₂= 4 : 1). As helium gas effectively generates active particles of O₂⁺ and O⁺ by the Penning ionization effect, the crystallinity of the films is expected to improve.<BR>The crystallinity and the composition of films were dependent on the composition of targets. When we prepared the Bi -2212 films using the targets of Bi : Sr : Ca : Cu = 2 : 2 : 1 : Z (Z = 1.0-3.0), the best crystallinity of the film was obtained using the target of Z = 2.0. Furthermore, we prepared the Bi-2223 films with the composition of target, Bi : Sr : Ca : Cu = 2 : 2 : 2 : 3. The films with dominant Bi-2223 single phase were obtained only at T_sub = 630°C, but Bi-2223 and Bi-2212 mixed phases appeared at the other substrate temperatures.

収録刊行物

• 真空

  真空 45 (3), 297-300, 2002

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065332608
• NII論文ID: 10008203171
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.45.297
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 6144735
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6144735
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可