スパッタリング法による薄膜３層構造を有した固体酸化物燃料電池の作製条件の検討

• 出石 晃之

  大阪工業大学工学部電気工学科

• 岡山 英夫

  大阪工業大学工学部電気工学科

• 長田 昭義

  大阪工業大学工学部電気工学科

書誌事項

タイトル別名

• Preparation of Solid Oxide Fuel Cell Having a Three-Layer Film Structure Grown by RF Magnetron Sputtering.
• スパッタリングホウ ニ ヨル ハクマク 3ソウ コウゾウ オ ユウシタ コタイ サン カブツ ネンリョウ デンチ ノ サクセイ ジョウケン ノ ケントウ

抄録

Solid oxide fuel cell (SOFC) having a three-layer film of Ni/YSZ/Ni structure with 20-40μm was prepared on the porous Al₂O₃ substrate by RF magnetron sputtering. The structural and electrical properties of the YSZ electrolyte and Ni electrode films were investigated for various layer thicknesses. Ni electrode film grown at an RF power of 300 W indicated the columnar structure and resistivity of the film decreased with increasing layer thickness. Although conductivity of a SOFC having a three-layer film grown on the Al₂O₃ substrate increased with increasing layer thickness, its value was reduced by two order compared with theoretical one, because YSZ electrolyte was deformed to structure with many pores by the thermal energy.

収録刊行物

• 真空

  真空 45 (3), 305-308, 2002

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390001204065331328
• NII論文ID: 10008203188
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.45.305
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 6144756
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6144756
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可