解説 産業用X線CT技術の進展--高密度実装半導体および材料試験複合装置による応用

• 開本 亮

• 塩田 忠弘

• 枝廣 雅美

Bibliographic Information

Other Title

• カイセツ サンギョウヨウ Xセン CT ギジュツ ノ シンテン コウミツド ジッソウ ハンドウタイ オヨビ ザイリョウ シケン フクゴウ ソウチ ニ ヨル オウヨウ

Journal

• 実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編

  実験力学 : Journal of JSEM : Journal of the Japan Society for Experimental Mechanics / 日本実験力学会編集委員会 編 1 (3), 127-131, 2001

  東京 : 日本実験力学会

Keywords

• Microfocus X-ray
• Computed Tomography
• Non-destructive Inspection
• Semiconductor Package
• Reverse Engineering
• Material Testing Machine

Details

• CRID: 1520853834705377920
• NII Article ID: 10008203534
• NII Book ID: AA11822914
• ISSN: 13464930
• NDL BIB ID: 5941659
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5941659
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles