シリコン基板上の堆積膜の赤外反射吸収スペクトルに対するシリコン酸化膜の影響  [in Japanese]

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  • Journal of the Spectroscopical Society of Japan

    Journal of the Spectroscopical Society of Japan 51(2), 74-76, 2002-04-15

    The Spectroscopical Society of Japan

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008204837
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00222531
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    NOT
  • ISSN
    00387002
  • NDL Article ID
    6148423
  • NDL Source Classification
    ZM35(科学技術--物理学)
  • NDL Call No.
    Z15-1
  • Data Source
    CJP  NDL  J-STAGE 
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