窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ  [in Japanese] A Foil Type Flexible Pressure Sensor Using Nitelide Aluminum Thin Filrn  [in Japanese]

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  • 計測自動制御学会論文集

    計測自動制御学会論文集 38(5), 427-432, 2002-05-31

    計測自動制御学会

References:  15

Cited by:  7

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008466390
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00072392
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    Journal Article
  • ISSN
    04534654
  • NDL Article ID
    6166948
  • NDL Source Classification
    ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
  • NDL Call No.
    Z14-482
  • Data Source
    CJP  CJPref  NDL 
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