SMTによる水素終端化Si(001)表面の昇温過程の観察  [in Japanese]

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Author(s)

    • 遠藤 勝義
    • 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
    • 大野 広基
    • 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
    • 上杉 雄二
    • 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
    • 森 勇蔵
    • 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

Journal

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 43, 2002-03-01

References:  3

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008499580
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN1018673X
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    SHO
  • Data Source
    CJP 
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