超音波振動を利用したリニアガイド用スクイーズ空気軸受に関する研究

• 青柳 友邦

  東京理科大学大学院

• 吉本 成香

  東京理科大学

• 檀原 伸補

  東京理科大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 106-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1574231874408598528
• NII論文ID: 10008499775
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles