サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築

• 高 偉

  東北大工

• 清野 慧

  東北大工

• 出島 秀一

  東北大院

• 冨田 良幸

  住友重機械工業(株)

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 122-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1570291224735241728
• NII論文ID: 10008499815
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles