変位の長ストロークと高分解能を両立する微動機構  [in Japanese]

Search this Article

Author(s)

Journal

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 126, 2002-03-01

References:  1

  • <no title>

    田丸

    精密工学会春季大会学術講演会論文集 429, 2000

    Cited by (1)

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008499829
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN1018673X
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    SHO
  • Data Source
    CJP 
Page Top