複合粒子研磨法:工具プレートに関する検討

• 戸川 千裕

  東芝セラミックス(株)

• 河田 研治

  東大生研

• 榎本 俊之

  東大生研

• 谷 泰弘

  東大生研

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 473-, 2002-03-01

Details

• CRID: 1571980074592818560
• NII Article ID: 10008500811
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles