遠紫外用フッ化カルシウム単結晶の超精密研磨と波長266nmでのレーザ損傷

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 480, 2002-03-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008500824
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • データ提供元
    CJP書誌 
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