アルミ磁気ディスク基板のサブナノメータ超平滑ポリシングの高能率化(続報):コロイダルシリカを用いた高速度・高圧力ポリシング特性の検討  [in Japanese]

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  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 481, 2002-03-01

References:  3

  • <no title>

    安井

    精密工学会誌 60(1), 128, 1994

    Cited by (1)

  • <no title>

    安井

    2001年度精密工学会春季講演会講演論文集 503, 2001

    Cited by (2)

  • <no title>

    安井

    2001年度精密工学会秋季講演会講演論文集 427, 2001

    Cited by (1)

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008500826
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN1018673X
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    SHO
  • Data Source
    CJP 
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