研磨テープを用いたCMP加工の研究(第2報):表面粗さの向上

• 内田 貴啓

  信州大学

• 南 大介

  信州大学

• 高道 哲郎

  信州大学

• 川久保 洋一

  信州大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 510-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1573668924453085952
• NII論文ID: 10008500899
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles