研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第2報粘弾性評価装置の開発と研磨布の評価

• 益永 孝幸

  (株)東芝

• 磯貝 宏道

  東芝セラミックス(株)

• 小島 勝義

  東芝セラミックス(株)

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 519-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1570291224732695296
• NII論文ID: 10008500933
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles