研磨布の粘弾性回復挙動がシリコンウエーハの外周ダレに与える影響:第3報研磨布粘弾性特性の数学モデル化手法  [in Japanese]

Search this Article

Author(s)

Journal

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 520, 2002-03-01

References:  2

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008500935
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN1018673X
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    SHO
  • Data Source
    CJP 
Page Top