放物面ミラーの超精密ELID研削

• 鈴木 亨

  理化学研究所

• 大森 整

  理化学研究所

• 上原 嘉宏

  理化学研究所

• 守 安精

  理化学研究所

• 戴 玉堂

  理化学研究所

• 山形 豊

  理化学研究所

• 林 偉民

  理化学研究所

• 田代 英夫

  理化学研究所

• 戒崎 俊

  理化学研究所

• 牧野内 昭武

  理化学研究所

• 横田 秀夫

  キャノン(株)

• 鈴木 正治

  キャノン(株)

• 阿部 俊一

  キャノン(株)

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 537-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1571698599616237952
• NII論文ID: 10008500984
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles