表面活性化法による封止接合

• 岡田 浩尚

  東京大学大学院

• 奈良 友寿

  職業能力開発総合大学校

• 前田 龍太郎

  産業技術総合研究所

• 高木 秀樹

  産業技術総合研究所

• HOWLADER M. M. R.

  東京大学先端研

• 伊藤 寿浩

  東京大学先端研

• 須賀 唯知

  東京大学先端研

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 565-, 2002-03-01

詳細情報

• CRID: 1570854174685889920
• NII論文ID: 10008501045
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles