複屈折分布による射出成形ディスク基板の平坦度評価法

• 大谷 幸利

  東京農工大学

• 境野 祐毅

  東京農工大学

• 石塚 健一

  東京農工大学

• 吉澤 徹

  東京農工大学

• 菅野 敏之

  富士電機

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 679-, 2002-03-01

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• CRID: 1571980074592787968
• NII Article ID: 10008501376
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles