CiNii 国立情報学研究所 学術情報ナビゲータ[サイニィ]
精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002(1), 748, 2002-03-01
ICHIMURA I.
Jpn.J.Appl.Phys. 39, 937, 2000
被引用文献37件