2種類の広帯域波長光源組み込み垂直走査型干渉計を用いる高精度形状計測(その2)

• 安達 正明

  金沢大学工学部

• 稲部 勝幸

  金沢大学工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 760-, 2002-03-01

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• CRID: 1573950399429646848
• NII Article ID: 10008501589
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles