アルミナの電子ビーム露光装置用超音波モーターへの応用  [in Japanese] Application of Almina Ceramics to Ultrasonic Motor for Electron-beam X-ray Mask-Writer  [in Japanese]

Search this Article

Author(s)

Journal

  • Ceramics Japan

    Ceramics Japan 37(1), 39-41, 2002-01-01

    日本セラミックス協会

References:  3

Cited by:  2

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008568611
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00131516
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    Journal Article
  • ISSN
    0009031X
  • NDL Article ID
    6026665
  • NDL Source Classification
    ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
  • NDL Call No.
    Z17-206
  • Data Source
    CJP  CJPref  NDL 
Page Top