アルミナの電子ビーム露光装置用超音波モーターへの応用

• 竹之内 一憲

• 足立 幸志

書誌事項

タイトル別名

• アルミナ ノ デンシ ビーム ロコウ ソウチヨウ チョウオンパ モーター エ ノ オウヨウ
• 特集2 セラミックスのトライボロジー部品への応用
• トクシュウ 2 セラミックス ノ トライボロジー ブヒン エ ノ オウヨウ

収録刊行物

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 37 (1), 39-41, 2002-01

  東京 : 日本セラミックス協会

キーワード

• Ultrasonic motor
• Friction
• Wear
• Position control

詳細情報

• CRID: 1520290883858573056
• NII論文ID: 10008568611
• NII書誌ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL書誌ID: 6026665
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6026665
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles