超高純度物質とその製造 : 超純水  [in Japanese] Ultrapure Water  [in Japanese]

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  • Kagaku k(0xFADE)gaku

    Kagaku k(0xFADE)gaku 66(5), 305-309, 2002-05-05

    化学工学会

References:  3

  • <no title>

    半導体基板技術研究会

    超純水の科学, 1990

    Cited by (1)

  • <no title>

    浦井

    検査技術 6(12), 6, 2001

    Cited by (1)

  • <no title>

    オルガノ株式会社超純水編集委員会

    超純水, 1991

    Cited by (1)

Cited by:  1

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10008572466
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN00037212
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    Journal Article
  • ISSN
    03759253
  • NDL Article ID
    6151115
  • NDL Source Classification
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL Call No.
    Z17-53
  • Data Source
    CJP  CJPref  NDL 
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