Cat-CVD (Hot Wire CVD)法による製膜プロセスとデバイス応用

• 松村 英樹

  北陸先端大

Journal

• 應用物理

  應用物理 71 (6), 757-758, 2002-06-10

Details

• CRID: 1572543024559537408
• NII Article ID: 10008644095
• NII Book ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles