低誘電率媒体としてのアモルファス窒化炭素薄膜 Amorphous carbon nitride films as low dielectric constant materials for ULSI

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  • 應用物理

    應用物理 71(7), 892-894, 2002-07-10

    応用物理学会

参考文献:  24件中 1-24件 を表示

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    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10008830656
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00026679
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    03698009
  • NDL 記事登録ID
    6210839
  • NDL 雑誌分類
    ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
  • NDL 請求記号
    Z15-243
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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