高電圧SEMによるLSIデバイスの3次元観察

• 上野 武夫

  株式会社日立サイエンスシステムズ

• 矢口 紀恵

  株式会社日立サイエンスシステムズ

• 朝山 匡一郎

  株式会社日立製作所半導体グループ

書誌事項

タイトル別名

• 3D Observation of LSI Device by High Voltage SEM

収録刊行物

• まてりあ

  まてりあ 40 (12), 1001-1001, 2001

  公益社団法人 日本金属学会

キーワード

• lage-scale intergraled circuit device
• 3D observation
• high voltage scanning electron microscopy

詳細情報

• CRID: 1390001204079156352
• NII論文ID: 10008847786
• NII書誌ID: AN10433227
• DOI: 10.2320/materia.40.1001
• ISSN: 18845843
• ISSN: 13402625
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/materia1994/40/12/40_12_1001/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles