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収録刊行物
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- J. Microelectromechanical Syst.
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J. Microelectromechanical Syst. 6 10-, 1997
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詳細情報
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- CRID
- 1573387449458776192
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- NII論文ID
- 10008979416
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- データソース種別
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- CiNii Articles